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中国科学院微电子研究所EDI超纯水项目成套设备工程

中国科学院微电子研究所是我国第一个电子与信息科学技术的综合型研究所。经过五十多年的发展,电子所现有在职职工863人,其中科技人员579人,包括中国科学院院士1人,研究员65人、副研究员、高级工程师147人,“国家杰出青年科学基金”获得者2人,中科院“百人计划”入选者7人,并已形成了微波成像雷达及其应用技术、微波器件与技术、高功率气体激光技术、传感器与微系统技术和空间信息处理与应用领域五个优势学科以及探地雷达和FPGA技术两个新技术增长点。